臭氧是目前已知的一種廣譜、高效、快速、安全、無二次污染的殺菌氣體，可殺滅細菌芽胞、病毒、真菌等，并可破壞肉桿菌毒素。可殺滅附在水果、蔬菜、冰島青霉素菌、黑色變種芽胞、自然菌、淋球菌等、也可殺死甲、乙肝等傳染病毒，還可以去除果蔬殘留農藥及洗滌用品殘留物的毒素。其殺菌的機理是作用于細菌的細胞膜使細胞膜構成受到損壞，導致新陳代謝的障礙抑制其生長，直至死亡；其殺滅病毒的機理是通過直接破壞其核糖核酸或脫氧核糖核酸來完成。

　　臭氧具有極強的氧化性的特點，被世界公認是一種廣譜高效殺菌劑，它的氧化能力高于氯一倍，滅菌比氯快600-3000倍，甚至幾秒種內可以殺死細菌，對于常見的大腸桿菌、糞鏈球菌、綠膿桿菌、金黃葡萄球菌、霉菌等，在臭氧的環境中5分鐘，其殺滅率可達到99%以上。它的滅菌、消毒作用幾乎是瞬時發生的，在水中臭氧濃度0.3-2mg/L時，0.5-1min內就可以致死細菌。達到相同滅菌效果（如使大腸桿菌殺滅率達99%）所需臭氧水藥劑量僅是氯的0.0048%。

　　臭氧殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，O3對霉菌也有極強的殺滅作用。O3由于穩定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。

    由于臭氧的特點，臭氧消毒廣泛應用于桶裝水、瓶裝水產品消毒，包裝容器消毒，食品廠，飲料廠、藥廠的空氣消毒及其他各種行業。

　  利用臭氧氣體殺菌消毒、降解有機廢氣、祛除異味、凈化空氣是國際上比較尖端的高新技術，國內外專家稱之為21世紀環境科學四大技術之一。